李云海和李娟,來到紀文姝辦公室。
倪教授等人都在。
紀文姝一看到李云海,便激動的大喊道:“李總!我成功了!我終于不負你的重望,我研究出了浸潤式光刻機!”
李云海哈哈笑道:“恭喜你,紀總!我早就說過,你一定可以成功的!”
大家一起鼓掌,祝賀紀文姝。
紀文姝抑制不住,雙手捧著臉,流下了幸福的淚水。
花了這么多年的時間,才研制成功,這里面的辛酸苦辣,個中滋味,只有當事人自己才能明白。
李云海輕輕拍了拍紀文姝的肩膀,笑道:“不要哭,大喜的日子!今天晚上,我們聚餐!對了,紀總,這個項目成功了,我要獎勵你和你的團隊一千萬現金!”
全場發出一聲哇的的驚呼,然后大聲叫好。
紀文姝果然不哭了,撲哧笑道:“一千萬啊?太多了吧?”
李云海道:“你還嫌多啊?那我減半?”
紀文姝連忙說道:“別別別,又不是我一個人得,大家都要分的嘛!李總,我帶你們去看看機器。”
李云海點頭稱好。
大家來到試驗室。
現在發明的浸潤式光刻機,還只是在試驗室里成功,要將這個技術,變成可以量產的項目,還得花費一些時間。
浸潤式光刻機的原理,是在晶圓上方加入一層水,并使用深紫光線光源的光刻機。
當深紫外光通過水折射時,193n波長,就會變成134n,從而提高光刻精度。
除浸潤式系統外,其它結構與普通非浸潤式光刻機相似。
以前的四海集團,本就擁有相關的光刻機技術。
物鏡系統是國產浸潤式光刻機的難點。
好在李云海早就做了準備。
在asml還沒有發動研究的時候,李云海就已經與卡爾蔡司達成合作,而且是獨家合作!
也就是說,卡爾蔡司只能和四海集團一起開發相關的物鏡系統。
目前國際上最先進的物鏡系統,只能達到90n。
李云海的眼光放得更長遠,他要求三江科研院,盡快取得更大的突破。
不過,目前來看,90n已經夠用很長一段時間了。
科技的發展,本就是擠牙膏一樣,慢慢的成長,而不是一蹴而就。
工作臺是浸潤式光刻機中不太困難的部份。
原來的四海科研院,就已經研制出工作臺,經過紀文姝團隊的改良之后,現在已經實現了134n的精度控制。
因此對于浸潤式光刻機而言,工作臺的問題基本解決了。
浸潤式系統由控制軟件、液態傳感器和控制器等組成。
三江科研院,在浸液控制系統上取得了重大突破,為浸潤式光刻機的實現奠定了基礎。
國產浸潤式光刻機的實現,我國就有能力制造更高級別的芯片!
包括以后的14n和7n芯片!
如此一來,我們可以大大減少對進口設備的依賴。
浸潤式光刻機的突破為我國芯片制造業提供了很大的希望。
只要物鏡系統能夠實現突破,完全國產化的浸潤式光刻機就可以實現,從而使以后7n芯片的全國產化變得不那么困難。